El objetivo de este libro es divulgar las técnicas más utilizadas para fabricar microsistemas basados en silicio. La novedad que aporta este trabajo es describir y mostrar detalladamente el proceso de fabricación de un Microsistema en una Sala Blanca. Se ha escogido un microacelerómetro de silicio como eje del estudio, porque su fabricación representa un ejemplo claro del uso de tecnologías microelectrónicas y de tecnologías de micromecanización. Además, el acelerómetro es uno de los microsistemas más conocidos, debido a sus aplicaciones y a su éxito comercial. Se utiliza en sistemas de seguridad o navegación y en productos de electrónica de consumo, como cámaras fotográficas, videocámaras o videoconsolas. En la primera parte del libro se hace una introducción teórica a los acelerómetros en general y a los acelerómetros piezorresistivos en particular. En la segunda parte se muestra día a día su proceso de fabricación, en el «Diario del Proceso». Para una...